1. 工作臺在X軸運動方向之直線度
精密水平儀置于工作臺面中央(見圖一),移動X軸,在全行程范圍內讀出X-Z平面(由a讀出)和Y-Z平面(由b讀出)數值差;
標準直尺置于工作臺面上,使之與X軸平行,移動X軸,在全程范圍內讀出直尺面與立柱的距離之差(見圖二)。

注:上述為檢測X軸滑軌在三個平面內的直線度。
2. 工作臺在Y軸運動方向之直線度
精密水平儀置于工作臺面中央(見圖三),移動Y軸,在全行程范圍內讀出Y-Z平面(由b讀出)和X-Z平面(由a讀出)數值差;
標準直尺置于工作臺面上,使之與X軸平行,移動X軸,在全程范圍內讀出直尺面與立柱的距離之差(見圖四)。

注:上述為檢測Y軸滑軌在三個平面內的直線度。
3. X軸運動方向對工作臺面的平行度

千分表座固于Z軸上,表針打至工作臺面上,X軸移動,在全程范圍內讀出數值。
4. Y軸運動方向對工作臺面的平行度
千分表座固于Z軸上,表針打至工作臺面上,Y軸移動,在全程范圍內讀出數值。
注:上述為檢測工作臺面安裝對其導軌的X軸和Y軸方向的平行度。
5. 工作臺面的直線度
標準直尺置于工作臺面中央(分X軸與Y軸方向)調整等高塊,使直尺與工作臺面平行,測直尺面與工作臺面在全行程范圍內距離差值。

X-Z平面數值由直尺放置X軸方向讀出;
Y-Z平面數值由直尺放置Y軸方向讀出.
注:上述分別由X軸和Y軸方向測出工作臺面直線度,組合起來實為工作臺面的平面度。

6.X軸運動方向對工作臺T型槽的平行度
具體操作:千分表座固于Z軸上表針指至T型槽側壁,移動X軸,全行程內讀出數值差。
7.X軸與Y軸運動方向的垂直度

具體操作:置標準角尺平放于工作臺面上校直基準邊(如X軸方向),移動垂直方向軸(如Y軸),每300mm范圍內讀數值差(見圖)。
注:該項為檢測X軸與Y軸導軌安裝垂直度。
8.Z軸運動方向上的主軸直線度
具體操作:標準角尺置于工作臺中央(見圖),調整等高塊,使角尺測量邊與Z軸平行。移動Z軸每300mm ,測Z軸對測量邊的跳動差值。

Z—X方向由角尺放置X軸方向測得。
Z—Y方向由角尺放置Y軸方向測得。
注:該項為測Z軸導軌的直線度。
9.Z軸運動方向和工作臺面的垂直度
具體操作:標準角尺置于工作臺面中央(見圖)

移動Z 軸,測出差值(每300mm)
Z—X方向由角尺放置X軸方向測得。
Z—Y方向由角尺放置Y軸方向測得。
注:該項為測Z軸對工作臺面的垂直度。
10.工作臺面和主軸軸線的垂直度

具體操作:千分表座固于主軸上,表針打至工作臺面,以直徑為300mm劃圓測出數值差。
Z—X平面由表針旋至X軸方向側得。
Z—Y平面由表針劃圓旋至Y軸方向側得。
11.主軸錐孔與主軸的同軸度

具體操作:標準芯棒置于主軸錐孔,主軸旋轉,測芯棒之偏擺數值差。(見圖)
12.主軸內孔徑向跳動

具體操作:千分表座固于工作臺或主軸座上表針打至內孔壁(見圖),測跳動數值差、主軸轉動。
注:該項為測主軸內錐孔的圓度。
13.主軸端外圓徑向跳動
具體操作:該項與第12項同理。
14.主軸端面軸向跳動
具體操作:該項與第12大項同理。
以上檢測要點:
第1、2、7、8、9為測三軸導軌精度
第3、4 為測工作臺安裝精度
第5、6 為測工作臺精度
第10為測主軸安裝精度
第11、12為測主軸內錐孔制造精度
第13、14為測主軸端制造精度
第5、8項固無專用量具無法直接測出,可用描點法間接測出,方法如下:
第5項具體操作:在測第3、4項同時,在所測范圍長度內分若干段,讀出其對應數值比例,作圖求出其直線度(見圖)。

第8項具體操作:在測第9項同時按上述同理求出。